| 2012/12 |
多層コーティング法に用いるBNの損耗率測定および較正係数の決定―Measurement of Erosion Rate of BN Used in Multilayer Coating Method and Determination of the
Calibration Factor for the Difference
細田 誠也, 張 科寅, 川嶋 嶺
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プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS |
20巻
2号
126から
129ページまで
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[茨木] : プラズマ応用科学会 |