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発表年月
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タイトル／共同研究者
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掲載誌
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巻・号・頁
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学術機関等
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| 2024/07 |
圧電MEMS-BAWジャイロスコープのための単結晶PZT-Siディスク共振子の設計とプロセス開発
岩田 侑次郎, 吉田 慎哉
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電気学会研究会資料（マイクロマシン・センサシステム研究会） |
1から
6ページまで
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| 2024/03 |
圧電薄膜積層MEMSアクチュエータへの応用を目指したPZT/LaNiO3/PZTエピタキシャル積層構造の作製
加藤 創吉, 勅使河原, 明彦, 吉田 慎哉
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第71回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 |
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| 2024/03 |
バッファ層の領域選択的ウェットエッチングを利用した単結晶・多結晶コンポジットPZT薄膜のスパッタ成膜
片貝 有作, 勅使河原, 明彦, 吉田 慎哉
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第71回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 |
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| 2022/01 |
最近の進歩，飲み込み型センサ
吉田 慎哉
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人工臓器 |
51巻
3号
169から
172ページまで
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| 2022/01 |
高性能圧電薄膜を用いたMEMS 超音波撮像システムの開発
吉田慎哉
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機械の研究 |
74巻
3号
171から
176ページまで
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| 2020/08 |
Epitaxial Growth of Pure-Perovskite-Phase Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Film on Si by Magnetron Sputter using Powder
Target
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Abstracts of Electroceramics XVII |
30から
30ページまで
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| 2020/07 |
胃酸で発電・蓄電する普段使いできる「飲む体温計」の開発
吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力
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化学工業 |
71巻
7号
414から
420ページまで
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| 2020/05 |
胃酸発電で充電する飲み込み型深部体温計の試作
吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力
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第59回日本生体医工学会大会 プログラム・抄録集 |
418から
418ページまで
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| 2020/03 |
Fabrication of Pure-Perovskite-Phase Sm-Doped Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film on Si by Magnetron Sputter using
Powder Target
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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第67回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 |
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| 2020/01 |
Development of Sputter Deposition Technology of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film with Pure Perovskite
Phase on Si for Piezoelectric MEMS Actuator
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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圧電材料・デバイスシンポジウム2020予稿集 |
127から
128ページまで
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| 2020/01 |
良好な絶縁性を有するMEMS用PZT系単結晶薄膜の形成法の探索
海老原 凌, 吉田 慎哉, 田中 秀治
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圧電材料・デバイスシンポジウム2020予稿集 |
31から
36ページまで
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| 2020/01 |
Characterization of Epitaxial-PZT/Si pMUT Array and Demonstration of 1-Dimensional Imaging of a Blood Vessel Phantom
Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Toshiaki Horie, Shoji Okamoto, Ryoichi Takayama, Shuji Tanaka
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圧電材料・デバイスシンポジウム2020 |
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| 2020/01 |
Si基板上c軸配向PZT系エピタキシャル薄膜への靭性付与法の探索
勝又 優, 吉田慎哉, 田中秀治
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圧電材料・デバイスシンポジウム2020予稿集 |
133から
134ページまで
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| 2019/12 |
良好な絶縁性を有する c 軸配向 PZT 系単結晶薄膜の Si 基板上への形成
海老原 凌, 吉田 慎哉, 田中 秀治
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第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 講演予稿集 |
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| 2019/03 |
Proof of Concept for Tablet-Shaped Ingestible Core-Body Thermometer with Gastric Acid Battery
吉田 慎哉
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Proceedings of The 2019 IEEE 1st Global Conference on Life Sciences and Technologies (LifeTech 2019) |
182から
184ページまで
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| 2018/10 |
Development of Beam Forming System Based on Epitaxial-PZT Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (pMUT) Array
Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Toshiaki Horie, Shoji Okamoto, Ryoichi Takayama, Shuji Tanaka
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第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演予稿集 |
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| 2018/10 |
Si上c軸配向PZT系エピタキシャル薄膜を用いた高性能焦電MEMSセンサの開発
吉田 慎哉, 長谷川 幸弘, 高山 了一, 田中 秀治
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| 2018/09 |
胃酸電池でエネルギーを収穫する飲み込み型深部体温計の原理実証
吉田 慎哉
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生体医工学シンポジウム2018 予稿・抄録集 |
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| 2018/04 |
Sputter Epitaxy of Pb(Zr,Ti)O3 and Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Films on Si for High-Performance Piezoelectric MEMS
吉田 慎哉
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The proceedings of Smart Systems Integration |
233から
239ページまで
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| 2018/01 |
エピタキシャルPMnN-PZTを用いたMEMS超音波レンジファインダ
周朕, 吉田慎哉, 田中秀治
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日本学術振興会「弾性波素子技術 第150委員会」第151回 研究会資料 |
25から
30ページまで
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| 2018/01 |
Ultrasonic MEMS Rangefinder with 2 m Range at 1 V Drive Based on Large Figure-of-Merit PMnN-PZT Epitaxial Thin Film
Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Abstract of PiezoMEMS 2018 Workshop |
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| 2017/10 |
胃酸電池によって駆動する低消費エネルギー小型飲込み型深部体温計のコンセプト実証 (第9回 集積化MEMSシンポジウム)
吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] |
34巻
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Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 2017/05 |
スパッタ急冷法によってSi基板上に形成した大圧電特性・高キュリー温度PMN-PTエピタキシャル薄膜
森村拓巳, 吉田慎哉, 長谷川幸弘, 和佐清孝, 田中秀治
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第３４回強誘電体応用会議 講演予稿集 |
23から
24ページまで
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| 2017/03 |
エピタキシャルPMnN-PZT/Si トランスデューサを用いた高S/N 比pMUT レンジファインダー
吉田 慎哉, 周 朕, 田中 秀治
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第64回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 |
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| 2017/01 |
Simulation analysis of a miniaturized electron optics of the Massively Parallel Electron Beam Direct-Write (MPEBDW) for Multi-column
system
Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Hiroshi Miyaguchi, Takashi Yoshida, Ryutaro Suda, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro
Totsu, Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida
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EMERGING PATTERNING TECHNOLOGIES |
10144巻
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SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING |
| 2016/10 |
超並列電子線描画装置における電子光学系の小型化の検討
小島 明, 池上 尚克, 宮口 裕, 吉田 孝, 須田 隆太郎, 吉田 慎哉, 室山 真徳, 戸津 健太郎, 江刺 正喜, 越田 信義
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] |
33巻
1から
5ページまで
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Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 2016/10 |
Sputtering Epitaxy of Highly c-Axis Oriented PMnN-PZT Thin Film on SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si for Piezoelectric MEMS Sensors.
Pham Ngoc Thao, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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第33回 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演予稿集 |
33巻
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| 2016/09 |
Si基板上c軸配向PMnN-PZTエピタキシャル急冷薄膜の面内ひずみの高温XRD解析
吉田 慎哉, 田中 秀治
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集 |
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| 2016/09 |
Deposition Temperature Dependency of Characteristics of PMnN-PZT Epitaxial Thin Film on Si Prepared by Sputter Deposition
with Fast Cooling
Zhen Zhou, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集 |
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| 2016/08 |
Sputter Epitaxy of Large Figure-of-Merit PMnN-PZT thin film on Si for Ultrahigh-Performance Piezoelectric MEMS Sensor
Shinya Yoshida
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The abstracts of the 11th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics |
8から
8ページまで
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| 2016/02 |
PZT/BiScO3-PTスパッタ薄膜の高温XRD特性
和佐清孝, 半澤弘明, 吉田慎哉, 柳谷隆彦, 田中秀治
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圧電材料・デバイスシンポジウム2016 講演予稿集 |
67から
70ページまで
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| 2016/01 |
Development of a MEMS electrostatic condenser lens array for nc-Si surface electron emitters of the Massive Parallel Electron
Beam Direct-Write system
A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, S. Yoshida, K. Totsu, N. Koshida, M. Esashi
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ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VIII |
9777巻
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SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING |
| 2016/01 |
Fabrication of pMUT Based on Large Figure-of-Merit Epitaxial PMnN-PZT/Si Transducer
Zhen Zhou, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Abstract of the 8th Japan-China Symposium on Ferroelectric Materials and Their Applications (JCFMA8) |
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| 2015/11 |
Advanced Piezoelectric Films for MEMS and Acoustic Wave Devices
S. Tanaka, S. Yoshida, M. Kadota, K. Wasa
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Sixth International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems |
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| 2015/10 |
17×17並列電子線露光システムの開発
宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 田中秀治, 江刺正喜
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第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演予稿集 |
32巻
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| 2015/10 |
PZT系単結晶薄膜を用いた圧電MEMSのためのエピタキシャルバッファ層のウエハレベルスパッタ成膜
西澤信典, 吉田慎哉, 和佐清孝, 田中秀治
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第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演予稿集 |
32巻
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| 2015/10 |
超並列電子線描画装置用nc-Si（ナノシリコン）面電子源のためのMEMS静電コンデンサレンズアレイの開発
小島明, 池上尚克, 宮口裕, 吉田慎哉, 室山真徳, 戸津健太郎, 江刺正喜, 越田信義
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第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演予稿集 |
32巻
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| 2015/09 |
PZT薄膜とPZT MEMS
吉田 慎哉, 森山 雅昭
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金属 |
85巻
9号
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株式会社 アグネ技術センター |
| 2015/09 |
集積化MEMSバイオセンサチップの研究開発
吉田 慎哉
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第212回 JOEM講演要旨集 |
21から
27ページまで
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一般財団法人 有機エレクトロニクス材料研究会 |
| 2015/09 |
MEMS研究者から見た圧電MEMSと圧電材料
吉田 慎哉, 田中 秀治
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2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集 |
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| 2015/06 |
超並列電子線描画装置用アクティ ブマトリックスナノ結晶 シリコン電子源の開発と動作特性評価に関するレビュー
池上 尚克, 小島 明, 宮口 裕, 吉田 孝, 吉田 慎哉, 室山 真徳, 菅田 正徳, 越田 信義, 戸津健太郎, 江刺 正喜
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電気学会論文誌 E |
135巻
6号
221から
229ページまで
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Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 2015/05 |
Epitaxial Growth of (100)/(001) PZT-Based Thin Film on (111) Si Wafer Using SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 Buffer Layer
Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Abstracts of ISAF-ISIF-PFM2015 |
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| 2015/05 |
Sputter Deposition of Epitaxial Yttria-Stabilized Zirconia (YSZ) Buffer Layer on Large Diameter Si Wafer for Epitaxial PZT
Thin Film Transducer
Shinya Yoshida, Shinsuke Nishizawa, Takeshi Hayasaka, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka
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Abstracts of ISAF-ISIF-PFM2015 |
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| 2015/03 |
圧電MEMSのためのスパッタ堆積による大口径Si基板上へのYSZバッファ層のエピタキシャル成長
西澤 信典, 吉田 慎哉, 和佐 清孝, 田中 秀治
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第62回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 |
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| 2015/03 |
急冷法によってc 軸配向させたSi 基板上のPMnN-PZT単結晶薄膜の高温特性
半澤 弘明, 吉田 慎哉, 和佐 清孝, 田中 秀治
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第62回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 |
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| 2015/02 |
高性能圧電ＭＥＭＳセンサのためのc軸配向PMnN-PZTエピタキシャル薄膜のSi基板上への形成
吉田慎哉, 半澤弘明, 和佐清孝, 田中秀治
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圧電材料・デバイスシンポジウム2015 プロシーディング |
25から
28ページまで
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| 2015/01 |
超並列電子線描画用LSIの設計と評価
宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 金子亮介, 戸津健太郎, 田中秀治, 越田信義, 江刺正喜
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電気学会論文誌 E（センサ・マイクロマシン部門誌） |
135巻
10号
374から
381ページまで
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| 2015/01 |
Structure and Ferroelectric Properties of High TcBi(Me)O-3-PbTiO3 Single Crystal Thin Films
K. Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, S. Tanaka, H. Adachi, T. Matsunaga
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2015 JOINT IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON THE APPLICATIONS OF FERROELECTRIC, INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INTEGRATED FUNCTIONALITIES
AND PIEZOELECTRIC FORCE MICROSCOPY WORKSHOP (ISAF/ISIF/PFM)
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40から
43ページまで
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IEEE |
| 2015/01 |
高キュリー温度Bi(Me)O3-PbTiO3単結晶薄膜の構造と強誘電特性
和佐清孝, 半澤弘明, 吉田慎哉, 田中秀治, 足立秀明, 松永利之
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圧電材料・デバイスシンポジウム2015 プロシーディング |
57から
60ページまで
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| 2015/01 |
Fabrication of c-axis Oriented Epitaxial PMnN-PZT film on Si wafer for High Performance Piezoelectric MEMS sensors
Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka
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Abstracts of The AIMR International Symposium 2015 (AMIS2015) |
92から
92ページまで
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| 2014/12 |
Mechanical Strengthening of Silicon Torsion Bar of Scanning Micro Mirror by Hydrogen Anneal
Shinya Yoshida, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi
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The proceeding of the 21st International Display workshops (IDW ’14) |
1283から
1286ページまで
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| 2014/10 |
超並列電子線描画装置用LSIの設計と評価
宮口 裕, 室山 真徳, 吉田 慎哉, 池上尚克, 小島 明, 吉田 孝, 田中 秀治, 江刺 正喜
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第 31 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム プロシーディング |
31巻
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| 2014/10 |
超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価
池上 尚克, 小島 明, 宮口 裕, 吉田 孝, 西野 仁, 吉田 慎哉, 室山 真徳, 菅田 正徳, 越田 信義, 戸津 健太郎, 江刺 正喜
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第 31 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム プロシーディング |
31巻
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| 2014/09 |
Improvement of LSI-based amperometric sensor array for wide application of bioimaging and biosensing
Kumi Y. Inoue, Masahki Matsudaira, Kosuke Ino, Masanori Nakano, Kosuke Takara, Atsushi Suda, Ryota Kunikata, Shinya Yoshida,
Takeshi Hayasaka, Yoshiyuki Kikuchi, Xijiang Chang, Tomohiro Kubota, Hitoshi Shiku, Shuji Tanaka, Seiji Samukawa, Tomokaz
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65th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry |
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| 2014/05 |
素子分離された各領域に異なるオフセット電圧を与えるためのLSI絶縁分離・再配線プロセスの開発
金子亮介, 吉田慎哉, 室山真徳, 宮口裕, 江刺正喜, 田中秀治
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電気学会研究会資料（マイクロマシン・センサシステム研究会） |
9から
14ページまで
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| 2014/02 |
Si基板上のPZT系3元ペロブスカイト圧電薄膜
和佐清孝, 半澤弘明, 吉田慎哉, 田中秀治
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弾性波素子技術第150委員会 第135回研究会資料 |
135巻
25から
30ページまで
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| 2014/01 |
Massively parallel electron beam direct writing (MPEBDW) system based on micro-electro-mechanical system (MEMS)/nanocrystallineSi
emitter array
A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S. Yoshida, M. Sugata, H. Ohyi, N. Koshida, M. Esashi
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ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VI |
9049巻
904918から
904918ページまで
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SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING |
| 2014/01 |
ダイヤモンド集積化ＬＳＩによるバイオセンシング・イメージング
吉田慎哉, 井上久美, 末永智一
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InterLab |
春巻
No. 110号
24から
29ページまで
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株式会社オプトロニクス社 |
| 2014/01 |
Diamond on CMOS for Amperometric Bio-imaging
Shinya Yoshida, Takeshi Hayasaka, Kumi Y. Inoue, Masanori Nakano, Shuji Tanaka, Tomokazu Matsue, Masayoshi Esashi
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Abstracts of The AIMR International Symposium 2014 (AMIS 2014) |
2014巻
88から
88ページまで
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| 2014/01 |
超並列電子線描画装置のためのピアース型ナノ結晶シリコン電子源アレイの作製
西野 仁, 吉田 慎哉, 小島 明, 池上 尚克, 田中 秀治, 越田 信義, 江刺 正喜
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電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) |
134巻
6号
146から
153ページまで
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Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 2013/11 |
LSI集積化アンペロメトリックセンサアレイへの導電性ダイヤモンド電極の形成 (第5回 集積化MEMSシンポジウム)
早坂 丈, 吉田 慎哉, 井上 久美
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] |
30巻
1から
5ページまで
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Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 2013/09 |
試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援
戸津 健太郎, 森山 雅昭, 鈴木 裕輝夫, 小野 崇人, 吉田 慎哉, 江刺 正喜
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金属 |
83巻
9号
13から
20ページまで
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アグネ技術センター |
| 2013/09 |
超並列電子線描画装置の開発
江刺 正喜, 池上 尚克, 小島 明, 宮口 裕, 西野 仁, 越田 信義, 吉田 孝, 室山 真徳, 吉田 慎哉
|
金属 |
83巻
9号
7から
12ページまで
|
アグネ技術センター |
| 2013/03 |
超並列電子線描画のためのLSI集積化ピアース型面電子源アレイの作製法の基礎検討
西野 仁, 吉田慎哉, 小島 明, 池上尚克, 越田信義, 田中秀治, 江刺正喜
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平成２５年電気学会講演論文集 |
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| 2013/02 |
Materials for MEMS
M. Esashi, S. Yoshida, M. Muroyama, N. Kaushik, N. Wang, M. Makihata, Y.-C. Lin, J.-W. Lee, W.-S. Wang, Y.S. Tsai, J. Fromel,
T. Gessner
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Abstracts of The AIMR International Symposium 2013 (AMIS 2013) |
2013巻
32から
32ページまで
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| 2013/02 |
Piezoelectric Lateral MEMS Actuator Fabricated by Micromolding and Sol-Gel Processes
Shinya Yoshida, Nan Wang, Masayoshi Esashi
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Abstracts of The AIMR International Symposium 2013 (AMIS 2013) |
2013巻
95から
95ページまで
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| 2013/01 |
超並列電子線描画装置のためのピアース型ナノ結晶シリコン電子源アレイの作製
西野 仁, 吉田 慎哉, 小島 明, 池上尚克, 越田 信義, 田中 秀治, 江刺 正喜
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第３０回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
30巻
|
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| 2013/01 |
PZT-based high coupling with low permittivity thin films
Kiyotaka Wasa, Tomoaki Matsushima, Hideaki Adachi, Toshifumi Matsunaga, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani, Takashi Yamamoto,
Shinya Yoshida, Shuji Tanaka, S. Trolier-Mckinstry
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2013 Joint IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric and Workshop on Piezoresponse Force Microscopy, ISAF/PFM
2013
|
69から
72ページまで
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IEEE Computer Society |
| 2013/01 |
LSI集積化アンペロメトリックセンサアレイへの導電性ダイヤモンド電極の形成
早坂 丈, 吉田 慎哉, 井上久美, 末永 智一, 江刺 正喜, 田中 秀治
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第５回「集積化ＭＥＭＳシンポジウム」 |
5巻
|
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| 2013/01 |
Hands-on-access fabrication facility for MEMS Development and production
Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Takahito Ono, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi
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Proceedings of the International Display Workshops |
2巻
1405から
1408ページまで
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| 2012/10 |
Laterally-driven Piezoelectric Bimorph Microactuator with Sol-Gel-based High-Aspect-Ratio PZT Structure
Nan WANG, Shinya YOSHIDA, Masafumi KUMANO, Yusuke KAWAI, Shuji TANAKA, Masayoshi ESASHI
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第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 講演予稿集 |
29巻
238から
243ページまで
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| 2012/10 |
水素アニールによる微細加工されたシリコン構造体の表面平滑化と ねじり破壊強度へ与える影響の調査
羽鹿 亮, 吉田 慎哉, 牧志 渉, 金森 義明, 田中 秀治, 江刺 正喜
|
第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 講演予稿集 |
29巻
57から
62ページまで
|
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| 2012/10 |
Application of Functional Nanomaterials to MEMS
Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi
|
Abstract of The 1st International Conference on Emerging Advanced Nanomaterials 2012 |
1巻
90から
90ページまで
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| 2012/08 |
Fabrication of high-aspect-ratio PZT structure by sol-gel process using Si mold for MEMS transducers
Wang Nan, Shinya Yoshida, Masafumi Kumano, Masayoshi Esashi
|
The proceedings of International Symposium on Test Automation Instrumentation 2012 (ISTAI'2012)) |
214から
218ページまで
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| 2012/07 |
INVESTIGATION OF HYDROGEN-ANNEALING EFFECT ON TORSIONAL STRENGTH OF SI BEAM OF SCANNING MICROMIRROR DEVICE
Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Wataru Makishi, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi
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Abstract of The Sixth Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (IEEE APCOT 2012) |
6巻
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| 2012/06 |
湿潤オゾンによるSU-8の完全除去と高速除去条件の探索
吉田慎哉, 原島卓也, 江刺正喜, 田中秀治
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電気学会研究会資料 センサ・マイクロマシン部門総合研究会 |
MSS号
1から
4ページまで
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| 2012/06 |
Al2O3-RuOxハイブリッド膜の原子層堆積プロセスの開発とMEMSマイクロチャネルプレートへの応用可能性の検討
西野 仁, 吉田慎哉, 熊野勝文, 江刺正喜
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電気学会研究会資料 センサ・マイクロマシン部門総合研究会 |
2012巻
MSS号
5から
8ページまで
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| 2012/03 |
複合酸化膜と貴金属のための多元系原子層堆積装置の開発
熊野勝文, 西野仁, 吉田慎哉, 田中秀治, 江刺正喜
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第５９回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 |
59巻
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| 2012/03 |
水素アニール処理のシリコンの破壊強度に与える影響
羽鹿亮, 吉田慎哉, 牧志渉, 金森義明, 江刺正喜
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第５９回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 |
59巻
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| 2012/03 |
MEMS用難除去性高分子材料の高速除去のための蒸気オゾンエッチング装置の開発
原島卓也, 吉田慎哉, 江刺正喜, 田中秀治
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日本機械学会東北支部第47期総会・講演会講演論文集 |
47巻
140から
141ページまで
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| 2011/09 |
面内方向駆動型圧電MEMSスイッチのためのSi 鋳型を用いた高アスペクト比PZT 構造体の作製法の開発
王 楠, 吉田 慎哉, 熊野 勝文, 江刺 正喜
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日本機械学会第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム論文集 |
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| 2011/03 |
触媒化学気相成長法による感光性高分子薄膜のコンフォーマル成膜
小？林？竜？也, 吉？田？慎？哉, 熊？野？勝？文, 江？刺？正？喜
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第５８回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 |
58巻
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| 2011/02 |
Electrical modification on a conductivity-switching polyimide film formed by molecular layer deposition using scanning probe
microscope
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
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Abstracts of the 2011 WPI-AIMR Annual Workshop |
115から
115ページまで
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| 2010/10 |
MEMS 用難除去高分子材料のオゾンエッチング
栁田 秀彰, 吉田 慎哉, 江刺 正喜, 田中 秀治
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第27 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 |
27巻
48から
53ページまで
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| 2010/06 |
高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
秋山琴音, 石井大佑, 田中秀治, 下村政嗣, 川合祐輔, 吉田慎哉, 江刺正喜
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センサ・マイクロマシン部門総合研究会2010 |
7から
11ページまで
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| 2010/03 |
Investigation of frictional and elastic properties of a conductive polymer brush by atomic force microscopy for scanning probe
data storage system
Shinya Yoshida, So Fujinami, Masayoshi Esashi
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Abstract of the 2010 WPI-AIMR Annual Workshop |
85から
85ページまで
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| 2009/07 |
Advanced materials for MEMS
Masayoshi Esashi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama
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WPI-AIMR NEWS |
6巻
85から
95ページまで
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| 2009/04 |
モノリシックPZT多軸マイクロステージ
小野崇人, モハマド ファイズル, 吉田慎哉, 江刺正喜
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マテリアル インテグレーション |
Vol.22巻
No.4号
39から
44ページまで
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株式会社ティー・アイ・シィー |
| 2009/03 |
Scanning multiprobe data storage system based on reversible conductance change of conductive polymer
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
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Abstract of 2009 WPI-AIMR Annual Workshop |
58から
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| 2008/09 |
Multiprobe systems for data storage and other applications
Masayoshi Esashi, Takahito Ono, Shinya Yoshida
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Proceedings of 5th International Symposium on Instrumentation Science and Technology (ISIST’ 2008) |
258から
259ページまで
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| 2008/02 |
Conductive polymer recording media for scanning multiprobe data storage
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
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Proceedings of WPI & IFCAM Joint Workshop “Challenge of Interdisciplinary Materials Science to Technological Innovation of
the 21st Century”
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79から
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| 2007/01 |
Reversible electrical modification on conductive polymer for proximity probe data storage
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Shuichi Oi, Masayoshi Esashi
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Bionanotechnology Based Future Medical Engineering, Proceedings of the Final Symposium of the Tohoku University 21st Century
Center of Excellence Program
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623から
632ページまで
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| 2006/04 |
Actuator-Integrated Microprobes for Advanced Analysis in Nanoscale
Takahito Ono, Yusuke Kawai, Shinya Yoshida, Kentaro Iwami, Hegen Xu, Masayoshi Esashi
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The 1st International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs |
21から
24ページまで
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| 2006/01 |
MEMSマルチプローブ有機薄膜導電性記録
小野崇人, 吉田慎哉, 江刺正喜
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Molecular Electronics and Bioelectronics |
17(3)巻
3号
195から
200ページまで
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| 2005/01 |
Multiprobe systems for data storage and other applications
Masayoshi Esashi, Takahito Ono, Shinya Yoshida
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Proceedings of IEEE Sensors |
2005巻
258から
259ページまで
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| 2003/07 |
Electrical Modification on Conductive Polymer using a Scanning Probe Microscope
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Takashi Abe, Masayoshi Esashi
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Proceedings of the 20th Sensor Symposium |
411から
414ページまで
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