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発表年月
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タイトル／共同研究者
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発表者
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掲載誌
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巻・号・頁
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学会名等
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Development of Safe and Affordable Ingestible Thermometer as Capsule-Type In-body Cybernetic Avatar
Shinya Yoshida, Hiroshi Miyaguchi
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Shinya Yoshida, Hiroshi Miyaguchi |
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35th 2024 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science |
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Sputter Deposition of Mono and Polycrystalline Composite PZT Thin Film Using Area-Selective Modification of Buffer Layer Surface
by Wet Etching
Yusaku Katagai, Akihiko Teshigahara, Shinya Yoshida
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Yusaku Katagai, Akihiko Teshigahara, Shinya Yoshida |
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UFFC-JS 2024 (2024 Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium) |
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Fabrication of PZT/LaNiO3/PZT Epitaxial Multilayer Structure for Application to Piezoelectric MEMS Actuators
Sokichi Kato, Akihiko Teshigahara, Shinya Yoshida
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Sokichi Kato, Akihiko Teshigahara, Shinya Yoshida |
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UFFC-JS 2024 (2024 Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium) |
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Suppression of Pyrochlore Phase Growth in Sm-PMN-PT Epitaxial Thin Film Prepared via Sputter Deposition by Modification of
Seed Layer Surface
Akihiko Teshigahara, Ayumu Arai, Shinya Yoshida
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Akihiko Teshigahara, Ayumu Arai, Shinya Yoshida |
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UFFC-JS 2024 (2024 Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium) |
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Feasibility study of piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with stacked two heterogeneous piezoelectric thin films
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Shuji Tanaka
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Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Shuji Tanaka |
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第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
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DEVELOPMENT OF PMUT LINEAR ARRAY INCLUDED WITH FRESNEL ZONE PLATE FOCUSING FUNCTION
Tatsuya Shimoyama, Akihiko Teshigahara, Shinya Yoshida
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Tatsuya Shimoyama, Akihiko Teshigahara, Shinya Yoshida |
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IEEE MEMS2025 |
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駆動電極の形状と素子配置の工夫による圧電微小超音波トランスデューサリニアアレイの短軸方向へのビーム収束機能の付与
下山 達也, 吉田 慎哉
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下山 達也, 吉田 慎哉 |
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第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
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小型の「飲むpH計」の実現に向けたポリアニリン薄膜を用いた無線pHセンサシステムの開発
菅澤 伊吹樹, 宮口 裕, 吉田 慎哉
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菅澤 伊吹樹, 宮口 裕, 吉田 慎哉 |
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第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
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圧電微小超音波トランスデューサのボルト軸力測定システムへの応用可能性の検討
大瀧 朱夏, 吉田 慎哉
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大瀧 朱夏, 吉田 慎哉 |
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マイクロ・ナノ工学シンポジウム2024 |
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巨大圧電性を有するPMN-PT系単結晶薄膜のSi基板上へのエピタキシャル成長
吉田慎哉
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吉田慎哉 |
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2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会 |
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身体の中から健康状態を調べるカプセル型生体内サイバネティックアバター
吉田慎哉
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吉田慎哉 |
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第42回日本ロボット学会学術講演会（RSJ2024） |
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ポリアニリン薄膜を用いた飲み込み型pHセンサシステムの開発
菅澤 伊吹樹, 宮口 裕, 吉田 慎哉
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菅澤 伊吹樹, 宮口 裕, 吉田 慎哉 |
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第63回日本生体医工学会大会 |
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Development of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer with PZT-based Monocrystalline Thin Film
Shinya Yoshida
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Shinya Yoshida |
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Piezoelectric Materials and Applications in Actuators 2022 (IWPMA2022) |
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スパッタ法によるSm 添加PMN-PTのSi 基板上へのエピタキシャル成長
福士 海伊, 吉田 慎哉, Qi Xuanmeng, 田中 秀治
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福士 海伊, 吉田 慎哉, Qi Xuanmeng, 田中 秀治 |
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第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
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DEVELOPMENT OF PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER WITH DUAL HETEROGENEOUS PIEZOELECTRIC THIN FILM STACKING
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Mohssen Moridi, Sarah Risquez, Anirban Ghosh, Shuji Tanaka
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Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Mohssen Moridi, Sarah Risquez, Anirban Ghosh, Shuji Tanaka |
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Transducers 2023 |
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圧電薄膜積層MEMSアクチュエータへの応用を目指したPZT/LaNiO3/PZTエピタキシャル積層構造の作製
加藤 創吉, 勅使河原, 明彦, 吉田 慎哉
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加藤 創吉, 勅使河原, 明彦, 吉田 慎哉 |
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2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 |
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腸内の硫化水素濃度の測定を目的とした飲み込み型ガスセンサシステムの開発
芳賀 泰生, 宮口 裕, 吉田 慎哉
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芳賀 泰生, 宮口 裕, 吉田 慎哉 |
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第63回日本生体医工学会大会 |
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バルーンカテーテルと細径超音波プローブを併用した経食道心臓超音波検査の実現可能性の検討
長屋 育恵, 桐山 皓行, 大門 雅夫, 吉田 慎哉
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長屋 育恵, 桐山 皓行, 大門 雅夫, 吉田 慎哉 |
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第63回日本生体医工学会大会 |
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バッファ層の領域選択的ウェットエッチングを利用した単結晶・多結晶コンポジットPZT薄膜のスパッタ成膜
片貝 有作, 勅使河原, 明彦, 吉田 慎哉
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片貝 有作, 勅使河原, 明彦, 吉田 慎哉 |
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2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 |
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MEMS応用のための高性能圧電単結晶薄膜のSi基板上への形成
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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令和5年 電気学会 A部門大会 |
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「飲み込み型デバイスと「飲む体温計」thermopillRの開発」
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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PwCオンラインセミナー（オンデマンド配信），サイバー・フィジカル空間を繋ぐ次世代IoT無線技術の今と社会実装に向けた取り組み |
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“EPITAXIAL PB(ZR,TI)O3-BASED PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER FABRICATED ON SILICON-ON-NOTHING (SON) STRUCTURE
Takuma Sekiguchi, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka
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Takuma Sekiguchi, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka |
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2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) |
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圧電MEMS超音波センサのための単結晶PZT/Si/内空メンブレン構造の作製プロセスの開発
関口 拓真, 吉田 慎哉, 金森 義明, 田中 秀治
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関口 拓真, 吉田 慎哉, 金森 義明, 田中 秀治 |
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第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
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深部体温リズムを簡単かつ正確に測定するための安全・安価な摂取型体温計の開発
吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力
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吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力 |
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日本睡眠学会第46回定期学術集会 |
| 2025/03 |
小型で安価な「飲む体温計」の開発と展望
吉田慎哉, 宮口 裕
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吉田慎哉, 宮口 裕 |
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短距離無線通信研究会（SRW） |
| 2025/02 |
小型で安価な「飲む体温計」の開発と多機能化に向けて
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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センサ＆IoTコンソーシアム オンラインセミナー2025 健康管理・疾病予防を目指した消化管内環境センシング技術の最前線 |
| 2024/07 |
小型で安価な「飲む体温計」thermopill????の開発と応用展開
吉田慎哉
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吉田慎哉 |
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応用物理学会超集積エレクトロニクス産学連携委員会 第9回研究会 |
| 2024/03 |
安全・安価な「飲む体温計」の開発
吉田慎哉
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吉田慎哉 |
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第６回 新方式精密計測による物理・工学的変革を目指す回路技術調査専門委員会 |
| 2024/01 |
EPITAXIAL SM-DOPED PMN-PT FILM WITH HIGH PIEZOELECTRIC CONSTANT FOR MEMS APPLICATION
Kai Fukushi, Shinya Yoshida, Xuanmeng Qi, Shuji Tanaka
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Kai Fukushi, Shinya Yoshida, Xuanmeng Qi, Shuji Tanaka |
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IEEE MEMS2024 |
| 2023/11 |
高圧電定数を示すSm添加PMN-PT単結晶薄膜のスパッタ堆積と組成依存性の調査
福士 海伊, 吉田 慎哉, Qi Xuanmeng, 田中 秀治
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福士 海伊, 吉田 慎哉, Qi Xuanmeng, 田中 秀治 |
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第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2023/11 |
胃酸発電で充電する「飲む体温計」のためのMgペースト電極の開発
小島 嘉将, 宮口 裕, 吉田 慎哉
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小島 嘉将, 宮口 裕, 吉田 慎哉 |
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第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2023/09 |
飲んで健康状態を知るカプセル型生体内サイバネティックアバター
吉田慎哉
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吉田慎哉 |
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第41回日本ロボット学会学術講演会 オープンフォーラム |
| 2023/07 |
飲み込み型デバイスの研究開発とヘルスケアの未来
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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講演会「近未来への招待状〜ナイスステップな研究者2022からのメッセージ〜」第３回 |
| 2023/06 |
圧電ＭＥＭＳの高性能化のための高性能圧電単結晶薄膜の研究
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第34 回マイクロシステム融合研究会 |
| 2023/03 |
胃酸で充電する「飲む体温計」と応用展開
吉田慎哉
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吉田慎哉 |
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有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム第47回定例会 |
| 2022/11 |
多結晶を用いた区画化によるPZTエピタキシャル薄膜の亀裂進展抑制
吉田 慎哉, 勝又 優, 田中 秀治
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吉田 慎哉, 勝又 優, 田中 秀治 |
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第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム |
| 2022/08 |
圧電 MEMS のための鉛複合酸化物のスパッタエピタキシー
吉田慎哉
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吉田慎哉 |
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スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP 部会）第171 回定例研究会 |
| 2022/06 |
“摂取型センサ用ハードウェアプラットフォームと『飲む体温計』thermopillの開発
吉田慎哉
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吉田慎哉 |
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2022 センシング技術応用セミナー |
| 2022/04 |
Si 基板上への圧電薄膜のエピタキシャル成長と高性能圧電MEMS デバイスの創出
吉田慎哉
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吉田慎哉 |
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第186回電子セラミック・プロセス研究会 |
| 2022/04 |
Development of Ingestible Thermometer Charged by Gastric Acid Battery as a Next-Generation Healthcare Device
Shinya Yoshida
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Shinya Yoshida |
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The 17th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) |
| 2021/12 |
飲込み型センサ用ハードウェアプラットフォームと『飲む体温計』thermopill????の開発
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第４回 日本の大学発新技術オンライン・セミナー |
| 2021/12 |
圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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早稲田大学各務記念材料技術研究所オープンセミナー「次世代スマートフォン向けの圧電材料および弾性波デバイスの進展」 |
| 2021/12 |
“高性能圧電ＭＥＭＳ超音波デバイスの開発と応用、胃酸電池を搭載した「飲む体温計」の開発と応用”
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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“MEMSの小型・集積化と最新センサ技術への応用”日本テクノセンターオンラインセミナー |
| 2021/09 |
エピタキシャル圧電薄膜のSi基板上への成膜と高性能MEMSの創出
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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公益社団法人日本セラミックス協会 第34回秋季シンポジウム |
| 2021/06 |
「望めば誰もが安心して子供を産み育てられる社会」の実現のために科学技術ができること
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第60回日本生体医工学会大会 |
| 2021/06 |
胃酸電池で充電する「飲む体温計」による動物の消化管内温度の長時間測定実験
吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力
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吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力 |
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第60回日本生体医工学会大会 |
| 2021/06 |
Investigation of Optimal Sputter-Deposition Condition for Y-doped HfO2 Ferroelectric Film with Sub-micrometer Thickness on
Si Substrate
Lucie Ouedraogo, Shinya Yoshida, Ryo Ebihara, Shuji Tanaka
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Lucie Ouedraogo, Shinya Yoshida, Ryo Ebihara, Shuji Tanaka |
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8th PiezoMEMS Workshop |
| 2021/06 |
Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3？PbTiO3 on Si towards Giant-Piezoelectric MEMS Actuator
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka |
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8th PiezoMEMS Workshop |
| 2021/06 |
Development of Piezoelectric Epitaxial Thin Film for High-Performance MEMS
Shinya Yoshida
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Shinya Yoshida |
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8th PiezoMEMS Workshop |
| 2021/03 |
Y2O3-HfO2強誘電体薄膜を搭載した MEMS ユニモルフカンチレバーの作製と特性評価
海老原 凌, 吉田 慎哉, 志村 礼司郎, 舟窪 浩, 田中 秀治
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海老原 凌, 吉田 慎哉, 志村 礼司郎, 舟窪 浩, 田中 秀治 |
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第68回応用物理学会春季学術講演会 |
| 2021/01 |
SM-DOPED PB(MG1/3, NB2/3)O3？PBTIO3 SPUTTER-EPITAXY ON SI TOWARDS GIANT-PIEZOELECTRIC THIN FILM FOR MEMS
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka |
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IEEE MEMS2021 |
| 2021/01 |
Comparison of Characteristics between Doughnut- and Island-shaped pMUT Utilizing PZT-Based Epitaxial Thin Film
Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2021 |
| 2021/01 |
Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3？PbTiO3 on Si for Creation of Giant-Piezoelectric MEMS Actuator
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2021 |
| 2021/01 |
Optimization of Sputter Deposition Condition for Y-Doped HfO2 Ferroelectric Film with Sub-Micrometer Thickness on Si Substrate
Lucie Ouedraogo, Shinya Yoshida, Ryo Ebihara, Shuji Tanaka
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Lucie Ouedraogo, Shinya Yoshida, Ryo Ebihara, Shuji Tanaka |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2021 |
| 2021/01 |
安全・安価な「飲む体温計」と未来のヘルスケアデバイスの創出
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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カンブリアナイト32 |
| 2020/12 |
摂取型センサ用ハードウェアプラットフォームおよび安全・安価な「飲む体温計」の開発
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第4回デジタルヘルス学会学術大会 |
| 2020/10 |
大学経営の現在と未来、大学の新たな役割と挑戦
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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研究・イノベーション学会第35回年次学術大会 |
| 2020/10 |
チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）系エピ・ポリ薄膜のスパッタ成膜と破壊靭性の調査
勝又 優, 吉田 慎哉, 田中 秀治
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勝又 優, 吉田 慎哉, 田中 秀治 |
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第12回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」 |
| 2020/10 |
Design and Fabrication of Epitaxial-PMnN-PZT Doughnut-shape pMUT
Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka |
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第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2020/08 |
摂取型センサ用プラットフォームシステムの開発と胃酸充電式「飲む体温計」の試作
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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日本学術振興会シリコン超集積システム第165委員会 第98回研究会 |
| 2020/07 |
Commercial Production of Epitaxial PZT for Piezoelectric MEMS Applications
Ryoma Miyake, Mario Kiuchi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka, Glen R. Fox
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Ryoma Miyake, Mario Kiuchi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka, Glen R. Fox |
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IEEE IFCS-ISAF 2020 |
| 2020/05 |
胃酸発電で充電する飲み込み型深部体温計の試作
吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力
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吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力 |
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第59回日本生体医工学会大会生体医工学会 |
| 2020/03 |
Fabrication of Pure-Perovskite-Phase Sm-Doped Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film on Si by Magnetron Sputter using
Powder Target
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka |
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第67回応用物理学会春季学術講演会 |
| 2020/03 |
Development of Ingestible Sensor Platform Based on Gastric Acid Battery
Shinya Yoshida, Hiroshi Miyaguchi and Tsutomu Nakamura
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Shinya Yoshida, Hiroshi Miyaguchi and Tsutomu Nakamura |
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International Molecular Medicine Tri-Conference |
| 2020/01 |
Characterization of Epitaxial-PZT/Si pMUT Array and Demonstration of 1-Dimensional Imaging of a Blood Vessel Phantom
Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Toshiaki Horie, Shoji Okamoto, Ryoichi Takayama, Shuji Tanaka
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Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Toshiaki Horie, Shoji Okamoto, Ryoichi Takayama, Shuji Tanaka |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2020 |
| 2020/01 |
未来の健康 〜機械との融合によるヘルスケアとは？
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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フューチャーセッションズ 未来勉強会 in 東北 |
| 2020/01 |
良好な絶縁性を有するMEMS用PZT系単結晶薄膜の形成法の探索
海老原凌, 吉田慎哉, 田中秀治
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海老原凌, 吉田慎哉, 田中秀治 |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2020 |
| 2020/01 |
Si基板上c軸配向PZT系エピタキシャル薄膜への靭性付与法の探索
勝又 優, 吉田慎哉, 田中秀治
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勝又 優, 吉田慎哉, 田中秀治 |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2020 |
| 2020/01 |
Development of Sputter Deposition Technology of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film with Pure Perovskite
Phase on Si for Piezoelectric MEMS Actuator
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2020 |
| 2019/12 |
PZT単結晶薄膜を用いた高性能pMUTの開発と皮下血管生体認証への応用可能性
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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弾性波素子技術第150委員会 第159回研究会 |
| 2019/12 |
安全安心の「飲む体温計」によるヘルスケア
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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NEDO Technical Commercialization Program2019 |
| 2019/12 |
Prototyping of Tablet-Shaped Ingestible Core-Body Thermometer with Gastric Acid Battery
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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Sensors Summit 2019 |
| 2019/11 |
Sputter Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Film on Si for High-performance Piezoelectric MEMS Actuator
Qi Xuanmeng, 吉田 慎哉, 田中 秀治
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Qi Xuanmeng, 吉田 慎哉, 田中 秀治 |
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第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2019/11 |
良好な絶縁性を有するc軸配向PZT系単結晶薄膜のSi基板上への形成
海老原 凌, 吉田 慎哉, 田中 秀治
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海老原 凌, 吉田 慎哉, 田中 秀治 |
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第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2019/11 |
普段使いできる「飲む体温計」の事業開発
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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東京工業大学社会人アカデミーDeepTech事業開発コース |
| 2019/11 |
安全・安価な「飲む体温計」の開発と応用
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第149回温度計測部会講演会 |
| 2019/10 |
深部体温リズムを正確かつ簡単に測定するための胃酸電池を用いた「飲む体温計」の開発
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第26回日本時間生物学会学術大会 |
| 2019/09 |
安全安心の『飲む体温計』から始まるヘルスケアの未来
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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LINK-J×東北大学 ネットワーキング・ナイト |
| 2019/09 |
小さくて安くて高性能な超音波イメージャーの開発と高セキュア生体認証の実現
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第二回COI学会 |
| 2019/09 |
Development of Tablet-Shaped Ingestible Thermometer with Gastric Acid Battery for Daily Monitoring of Core-Body Temperature
and Its Rhythm
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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World Sleep 2019 |
| 2019/08 |
普段使いできる安全・安価な「飲む体温計」の開発とその応用
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第5回 東北大学 Networking Evening |
| 2019/06 |
CHARACTERIZATION OF EPITAXIAL-PZT/SI PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER (PMUT) AND ITS PHASED ARRAY SYSTEM
Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Toshiaki Horie, Shoji Okamoto, Ryouichi Takayama and Shuji Tanaka
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Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Toshiaki Horie, Shoji Okamoto, Ryouichi Takayama and Shuji Tanaka |
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Transducers 2019 |
| 2019/06 |
DEVELOPMENT OF MECHANICALLY-ROBUST PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER (PMUT) WITH ISLAND-SHAPED PZT MONOCRYSTALLINE
THIN FILM
Pham N. Thao, Shinya Yoshida, and Shuji Tanaka
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Pham N. Thao, Shinya Yoshida, and Shuji Tanaka |
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Transducers 2019 |
| 2019/03 |
Proof of Concept for Tablet-Shaped Ingestible Core-Body Thermometer with Gastric Acid Battery
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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The 2019 IEEE 1st Global Conference on Life Sciences and Technologies (LifeTech 2019) |
| 2019/03 |
胃酸電池でエネルギーを収穫する「飲む体温計」の開発と応用
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第20回日本健康支援学会年次学術大会 |
| 2019/03 |
深部体温計測デバイスについて
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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ヘルスケア・効果計測コンソーシアム，深部体温データの”価値”を探る 〜生体リズムを活用した事業創造〜 |
| 2018/11 |
圧電MEMSデバイスと応用に合わせた材料・プロセス開発
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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透明酸化物光・電子材料第166委員会 第81回研究会 |
| 2018/10 |
Development of Beam Forming System Based on Epitaxial-PZT Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (pMUT) Array
劉 子儀, 吉田 慎哉, 堀江 寿彰, 岡本 庄司, 高山 了一, 田中 秀治
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劉 子儀, 吉田 慎哉, 堀江 寿彰, 岡本 庄司, 高山 了一, 田中 秀治 |
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第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2018/10 |
Si上c軸配向PZT系エピタキシャル薄膜を用いた高性能焦電MEMSセンサの開発
吉田 慎哉, 長谷川 幸弘, 高山 了一, 田中 秀治
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吉田 慎哉, 長谷川 幸弘, 高山 了一, 田中 秀治 |
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第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2018/09 |
胃酸電池でエネルギーを収穫する飲み込み型深部体温計の原理実証
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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生体医工学シンポジウム2018 |
| 2018/04 |
Sputter Epitaxy of Pb(Zr,Ti)O3 and Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Films on Si for High-Performance Piezoelectric MEMS
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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Smart Systems Integration 2018 |
| 2018/03 |
胃酸で発電する「飲む体温計」
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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カンブリアナイト11（ヒューマンセンシングビジネス研究会） |
| 2018/02 |
圧電MEMS超音波デバイスの高性能化と最新技術動向
吉田 慎哉
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吉田 慎哉 |
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第15回圧電ＭＥＭＳ研究会 |
| 2018/01 |
Ultrasonic MEMS Rangefinder with 2 m Range at 1 V Drive Based on Large Figure-of-Merit PMnN-PZT Epitaxial Thin Film
Shinya Yoshida and Shuji Tanaka
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Shinya Yoshida and Shuji Tanaka |
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PiezoMEMS 2018 Workshop |
| 2017/12 |
『飲む体温計』による深部体温管理 |
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未来2018 |
| 2017/11 |
胃酸発電を利用した超小型飲み込み型深部体温計 |
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第5回次世代医療システム産業化フォーラム2017 |
| 2017/10 |
胃酸電池によって駆動する低消費エネルギー小型飲み込み型深部体温計のコンセプト実証
吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力
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吉田 慎哉, 宮口 裕, 中村 力 |
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第９回集積化MEMSシンポジウム |
| 2017/10 |
Development of Basic System of Ingestible Core Body Thermometer with Small Size and Low Energy Consumption Powered by Gastric
Acid Battery
Shinya Yoshida, Hiroshi Miyaguchi and Tsutomu Nakamura
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Shinya Yoshida, Hiroshi Miyaguchi and Tsutomu Nakamura |
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IEEE Sensors 2017 |
| 2017/08 |
飲み込み型深部体温計の開発 |
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第２回 時間疫学研究会 |
| 2017/06 |
MONOCRYSTALLINE PMNN-PZT THIN FILM ULTRASONIC RANGEFINDER WITH 2 METER RANGE AT 1 VOLT DRIVE
Zhen Zhou, Shinya Yoshida, and Shuji Tanaka
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Zhen Zhou, Shinya Yoshida, and Shuji Tanaka |
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The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017) |
| 2017/05 |
スパッタ急冷法によってSi基板上に形成した大圧電特性・高キュリー温度PMN-PTエピタキシャル薄膜
森村拓巳，吉田慎哉，長谷川幸弘，和佐清孝，田中秀治
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森村拓巳，吉田慎哉，長谷川幸弘，和佐清孝，田中秀治 |
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第34回強誘電体応用会議 |
| 2016/11 |
COI東北拠点の研究開発概要と飲込みセンサの基礎検討
中村 力，吉田 慎哉，宮口 裕
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中村 力，吉田 慎哉，宮口 裕 |
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MWE2016 |
| 2016/10 |
Sputtering Epitaxy of Highly c-Axis Oriented PMnN-PZT Thin Film on SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si for Piezoelectric MEMS Sensors.
Pham Ngoc Thao，Shinya Yoshida，and Shuji Tanaka
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Pham Ngoc Thao，Shinya Yoshida，and Shuji Tanaka |
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第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2016/09 |
Fabrication of pMUT Based on Large Figure-of-Merit Epitaxial PMnN-PZT/Si Transducer |
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The 8th Japan-China Symposium on Ferroelectric Materials and Their Applications (JCFMA8) |
| 2016/09 |
Si基板上c軸配向PMnN-PZTエピタキシャル急冷薄膜の面内ひずみの高温XRD解析
吉田慎哉，田中秀治
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吉田慎哉，田中秀治 |
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 2016/09 |
Deposition Temperature Dependency of Characteristics of PMnN-PZT Epitaxial Thin Film on Si Prepared by Sputter Deposition
with Fast Cooling
Zhen Zhou、Shinya Yoshida、Shuji Tanaka
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Zhen Zhou、Shinya Yoshida、Shuji Tanaka |
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第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 2016/08 |
Feasibility Study of Ingestible Sensor Platform Powered by Gastric Acid Battery for Daily Health Care
S. Yoshida, H. Miyaguchi and T. Nakamura
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S. Yoshida, H. Miyaguchi and T. Nakamura |
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16th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY |
| 2016/08 |
Sputter Epitaxy of Large Figure-of-Merit PMnN-PZT thin film on Si for Ultrahigh-Performance Piezoelectric MEMS Sensor |
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11th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics |
| 2016/04 |
Fabrication of Through Silicon Via with Highly Phosphorus-Doped Polycrystalline Si Plugs for Driving an Active-matrix Nanocrystalline
Si Electron Emitter Array
Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi
Koshida and Masayoshi Esashi
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Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi
Koshida and Masayoshi Esashi
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IEEE NEMS2016 |
| 2016/04 |
Investigation of Curie Temperature of Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 epitaxial thin film on Si Fabricated by Sputter Deposotion with
Fast Cooling Process
Yukihiro Hasegawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka
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Yukihiro Hasegawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka |
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IEEE NEMS2016 |
| 2016/04 |
Massive Parallel Electron Beam Direct Write (MPEBDW)
Hiroshi Miyaguchi (Invited), Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi
Esashi
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Hiroshi Miyaguchi (Invited), Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi
Esashi
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IEEE NEMS2016 |
| 2016/04 |
Advanced PZT-Based Epitaxial Thin Film on Si for High Performance Piezoelectric MEMS |
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IEEE NEMS2016 |
| 2016/04 |
Development of MEMS Electrostatic Condenser Lens Array of the Massive Parallel Electron Beam Direct-Write System
Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, and
Masayoshi Esashi
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Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, and
Masayoshi Esashi
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IEEE NEMS2016 |
| 2016/04 |
Feasibility Study of System Design and Elemental Technologies for Consumer-Use Ingestible Sensor Platform Utilizing Gastric
Acid Battery
Shinya Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Hiroshi Hyodo, Tsutomu Nakamura
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Shinya Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Hiroshi Hyodo, Tsutomu Nakamura |
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IEEE NEMS2016 |
| 2016/02 |
Development of a MEMS electrostatic condenser lens array for nc-Si surface electron emitters of the massive parallel electron
beam direct-write system
Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi
Koshida, Masayoshi Esashi
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Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi
Koshida, Masayoshi Esashi
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SPIE |
| 2016/02 |
PZT/BiScO3-PTスパッタ薄膜の高温XRD特性
和佐清孝，半澤弘明，吉田慎哉，柳谷隆彦，田中秀治
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和佐清孝，半澤弘明，吉田慎哉，柳谷隆彦，田中秀治 |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2016 |
| 2016/01 |
日常的な健康管理のための飲み込み型センサプラットフォームの研究開発 |
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COI 2021 会議シンポジウム |
| 2015/12 |
MEMS用超高性能PZT系単結晶薄膜の開発 |
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SEMICON Japan 2015 |
| 2015/10 |
17×17並列電子線露光システムの開発
宮口裕，室山真徳，吉田慎哉，池上尚克，小島明，田中秀治，江刺正喜
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宮口裕，室山真徳，吉田慎哉，池上尚克，小島明，田中秀治，江刺正喜 |
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第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2015/10 |
超並列電子線描画装置用nc-Si（ナノシリコン）面電子源のためのMEMS静電コンデンサレンズアレイの開発
小島明，池上尚克，宮口裕，吉田慎哉，室山真徳，戸津健太郎, 江刺正喜，越田信義
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小島明，池上尚克，宮口裕，吉田慎哉，室山真徳，戸津健太郎, 江刺正喜，越田信義 |
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第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2015/10 |
PZT系単結晶薄膜を用いた圧電MEMSのためのエピタキシャルバッファ層のウエハレベルスパッタ成膜
西澤信典，吉田慎哉，和佐清孝，田中秀治
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西澤信典，吉田慎哉，和佐清孝，田中秀治 |
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第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2015/09 |
集積化MEMSバイオセンサチップの研究開発 |
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有機エレクトロニクス材料研究会 第212回研究会 |
| 2015/09 |
MEMS研究者から見た圧電MEMSと圧電材料 |
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2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 2015/06 |
LARGE FIGURE-OF-MERIT EPITAXIAL PB(MN,NB)O3-PB(ZR,TI)O3/SI TRANSDUCER FOR PIEZOELECTRIC MEMS SENSORS
Hiroaki Hanzawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa and Shuji Tanaka
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Hiroaki Hanzawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa and Shuji Tanaka |
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18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015) |
| 2015/05 |
Epitaxial Growth of (100)/(001) PZT-Based Thin Film on (111) Si Wafer Using SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 Buffer Layer
Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
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Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka |
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ISAF-ISIF-PFM 2015 |
| 2015/05 |
Sputter Deposition of Epitaxial Yttria-Stabilized Zirconia (YSZ) Buffer Layer on Large Diameter Si Wafer for Epitaxial PZT
Thin Film Transducer
Shinya Yoshida, Shinsuke Nishizawa, Takeshi Hayasaka, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka
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Shinya Yoshida, Shinsuke Nishizawa, Takeshi Hayasaka, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka |
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ISAF-ISIF-PFM 2015 |
| 2015/05 |
Structure and Ferroelectric Properties of High Tc Bi(Me)O3-PbTiO3 Single Crystal Thin Films
Kiyotaka Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, S. Tanaka, H. Adachi, T. Matsunaga
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Kiyotaka Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, S. Tanaka, H. Adachi, T. Matsunaga |
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ISAF-ISIF-PFM 2015 |
| 2015/03 |
圧電MEMSのためのスパッタ堆積による大口径Si基板上へのYSZバッファ層のエピタキシャル成長
西澤 信典、吉田 慎哉、和佐 清孝、田中 秀治
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西澤 信典、吉田 慎哉、和佐 清孝、田中 秀治 |
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第62回応用物理学会春季学術講演会 |
| 2015/03 |
急冷法によってc 軸配向させたSi 基板上のPMnN-PZT単結晶薄膜の高温特性
半澤 弘明、吉田 慎哉、和佐 清孝、田中 秀治
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半澤 弘明、吉田 慎哉、和佐 清孝、田中 秀治 |
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第62回応用物理学会春季学術講演会 |
| 2015/02 |
Development of Ballistic Hot Electron Emitter and its Applications to Parallel Processing: Active-Matrix Massive Direct-Write
Lithography in Vacuum and Thin Films Deposition in Solutions
N. Koshida, A. Kojima, N. Ikegami, R. Suda, M. Yagi, J. Shirakashi, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S.
Yoshida, M. Sugata, K. Totsu, and M. Esashi
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N. Koshida, A. Kojima, N. Ikegami, R. Suda, M. Yagi, J. Shirakashi, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S.
Yoshida, M. Sugata, K. Totsu, and M. Esashi
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SPIE Advanced Lithography 2015 |
| 2015/02 |
高性能圧電MEMSセンサのためのc軸配向PMnN-PZTエピタキシャル薄膜のSi基板上への形成
吉田慎哉，半澤弘明，和佐清孝，田中秀治
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吉田慎哉，半澤弘明，和佐清孝，田中秀治 |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2015 |
| 2015/02 |
高キュリー温度Bi(Me)O3-PbTiO3単結晶薄膜の構造と強誘電特性
和佐清孝，半澤弘明，吉田慎哉，田中秀治，足立秀明，松永利之
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和佐清孝，半澤弘明，吉田慎哉，田中秀治，足立秀明，松永利之 |
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圧電材料・デバイスシンポジウム2015 |
| 2015/02 |
Fabrication of c-axis Oriented Epitaxial PMnN-PZT film on Si wafer for High Performance Piezoelectric MEMS Snsors
Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi and Shuji Tanaka
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Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi and Shuji Tanaka |
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The AIMR International Symposium 2015 (AMIS2015) |
| 2014/12 |
Mechanical Strengthening of Silicon Torsion Bar of Scanning Micro Mirror by Hydrogen Anneal |
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The 21st International Display workshops (IDW ’14) |
| 2014/10 |
超並列電子線描画装置用LSIの設計と評価
宮口 裕，室山 真徳，吉田 慎哉，池上尚克，小島 明，吉田 孝，田中 秀治，江刺 正喜
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宮口 裕，室山 真徳，吉田 慎哉，池上尚克，小島 明，吉田 孝，田中 秀治，江刺 正喜 |
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第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2014/10 |
超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価
池上 尚克，小島 明，宮口 裕，吉田 孝，西野 仁，吉田 慎哉，室山 真徳，菅田 正徳，越田 信義，戸津 健太郎，江刺 正喜
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池上 尚克，小島 明，宮口 裕，吉田 孝，西野 仁，吉田 慎哉，室山 真徳，菅田 正徳，越田 信義，戸津 健太郎，江刺 正喜 |
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第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2014/09 |
Highly c-Axis Oriented Monocrystalline Pb(Zr, Ti)O3 based Thin Film on Si Wafer by Sputter Deposition with Fast Cooling Process
Hiroaki Hanzawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa and Shuji Tanaka
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Hiroaki Hanzawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa and Shuji Tanaka |
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2014 IEEE International Ultrasonics Symposium |
| 2014/08 |
Improvement of LSI-based amperometric sensor array for wide application of bioimaging and biosensing
Kumi Y. Inoue, Masahki Matsudaira, Kosuke Ino, Masanori Nakano, Kosuke Takara, Atsushi Suda, Ryota Kunikata, Shinya Yoshida,
Takeshi Hayasaka, Yoshiyuki Kikuchi, Xijiang Chang, Tomohiro Kubota, Hitoshi Shiku, Shuji Tanaka, Seiji Samukawa, Tomokazu
Matsue
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Kumi Y. Inoue, Masahki Matsudaira, Kosuke Ino, Masanori Nakano, Kosuke Takara, Atsushi Suda, Ryota Kunikata, Shinya Yoshida,
Takeshi Hayasaka, Yoshiyuki Kikuchi, Xijiang Chang, Tomohiro Kubota, Hitoshi Shiku, Shuji Tanaka, Seiji Samukawa, Tomokazu
Matsue
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65th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry |
| 2014/05 |
素子分離された各領域に異なるオフセット電圧を与えるためのLSI絶縁分離・再配線プロセスの開発
金子 亮介、吉田 慎哉、室山 真徳、宮口 裕、江刺 正喜、田中 秀治
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金子 亮介、吉田 慎哉、室山 真徳、宮口 裕、江刺 正喜、田中 秀治 |
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マイクロマシン・センサシステム研究会 |
| 2014/03 |
超並列電子線描画装置用アクテイブマトリクスnc-Si面電子源の開発（Ⅳ）
池上尚克，小島明，吉田孝，西野仁，吉田慎哉，宮口裕，室山真徳，大井英之，越田信義，江刺正喜
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池上尚克，小島明，吉田孝，西野仁，吉田慎哉，宮口裕，室山真徳，大井英之，越田信義，江刺正喜 |
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第61回応用物理学会春季学術講演会 |
| 2014/02 |
Massively Parallel EB Direct Writing (MPEBDW) System based on Micro Electro Mechanical System (MEMS) /nc-Si emitter array,
A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S. Yoshida, M. Sugata, H. Ohyi, N. Koshida and M.
Esashi
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A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S. Yoshida, M. Sugata, H. Ohyi, N. Koshida and M.
Esashi
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SPIE |
| 2014/02 |
Diamond on CMOS for Amperometric Bio-imaging
Shinya Yoshida, Takeshi Hayasaka, Kumi Y. Inoue, Masanori Nakano, Shuji Tanaka, Tomokazu Matsue, Masayoshi Esashi
|
Shinya Yoshida, Takeshi Hayasaka, Kumi Y. Inoue, Masanori Nakano, Shuji Tanaka, Tomokazu Matsue, Masayoshi Esashi |
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The AIMR International Symposium 2014 (AMIS 2014) |
| 2014/01 |
INTEGRATION OF DIAMOND MICROELECTRODES ON CMOS-BASED AMPEROMETRIC BIOSENSOR ARRAY BY FILM TRANSFER TECHNOLOGY
Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Kumi Y. Inoue, Masanori Nakano, Tomohiro Ishikawa, Tomokazu Matsue, Masayoshi Esashi, and
Shuji Tanaka
|
Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Kumi Y. Inoue, Masanori Nakano, Tomohiro Ishikawa, Tomokazu Matsue, Masayoshi Esashi, and
Shuji Tanaka
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The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2014) |
| 2014/01 |
DEVELOPMENT OF MEMS PIERCE-TYPE NANOCRYSTALLINE SI ELECTRON-EMITTER ARRAY FOR MASSIVELY PARALLEL ELECTRON BEAM DIRECT WRITING
Hitoshi Nishino, Shinya Yoshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Nobuyoshi Koshida, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi
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Hitoshi Nishino, Shinya Yoshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Nobuyoshi Koshida, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi |
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The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2014) |
| 2014/01 |
Diamond on CMOSによるバイオセンシング |
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第１１回マイクロシステム融合研究会 |
| 2013/12 |
Hands-on-access Fabrication Facility for MEMS Development and Production
Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Takahito Ono, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi
|
Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Takahito Ono, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi |
|
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The 20th International Display workshops |
| 2013/11 |
LSI 集積化アンペロメトリックセンサアレイへの導電性ダイヤモンド電極の形成
早坂 丈，吉田 慎哉，井上久美，末永 智一，江刺 正喜，田中 秀治
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早坂 丈，吉田 慎哉，井上久美，末永 智一，江刺 正喜，田中 秀治 |
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第5回「集積化 MEMS シンポジウム」 |
| 2013/11 |
超並列電子線描画装置のためのピアース型ナノ結晶シリコン電子源アレイの作製
西野 仁，吉田 慎哉，小島 明，池上尚克，越田 信義，田中 秀治， 江刺 正喜
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西野 仁，吉田 慎哉，小島 明，池上尚克，越田 信義，田中 秀治， 江刺 正喜 |
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第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2013/07 |
PZT-based high coupling with low permittivity thin films
Wasa, K. 、 Matsushima, T. 、 Adachi, H. 、 Matsunaga, T. 、 Suzuki, M. 、 Yanagitani, T. 、 Yamamoto, T. 、 Yoshida, S. 、 Tanaka,
S. 、 Trolier-McKinstry, S.
|
Wasa, K. ; Matsushima, T. ; Adachi, H. ; Matsunaga, T. ; Suzuki, M. ; Yanagitani, T. ; Yamamoto, T. ; Yoshida, S. ; Tanaka,
S. ; Trolier-McKinstry, S.
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2013 Joint IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric and Workshop on Piezoresponse Force Microscopy, ISAF/PFM
2013
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| 2013/06 |
UV-ASSISTED INTERMITTENTLY-SPINNING OZONE STEAM ETCHING OF SU-8 FOR MICROMOLDING PROCESS
Shinya Yoshida, Kei Suzuki, Masayoshi Esashi, and Shuji Tanaka
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Shinya Yoshida, Kei Suzuki, Masayoshi Esashi, and Shuji Tanaka |
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The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems |
| 2013/03 |
超並列電子線描画のためのLSI集積化ピアース型面電子源アレイの作製法の基礎検討
西野 仁, 吉田慎哉, 小島 明, 池上尚克, 越田信義, 田中秀治, 江刺正喜
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西野 仁, 吉田慎哉, 小島 明, 池上尚克, 越田信義, 田中秀治, 江刺正喜 |
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平成25年電気学会全国大会 |
| 2013/02 |
Development of maskless electron-beam lithography using nc-Si electron-emitter array
A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Noshino, S. Yoshida, M. Sugata, S. Cakir, H. Ohyi, N. Koshida,
M. Esashi
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A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Noshino, S. Yoshida, M. Sugata, S. Cakir, H. Ohyi, N. Koshida,
M. Esashi
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SPIE 8680, Alternative Lithographic Technologies V |
| 2013/02 |
Materials for MEMS
M. Esashi, S. Yoshida, M. Muroyama, N. Kaushik, N. Wang, M. Makihata, Y.-C. Lin, J.-W. Lee, W.-S. Wang, Y.S. Tsai, J. Fromel
and Gessner
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M. Esashi, S. Yoshida, M. Muroyama, N. Kaushik, N. Wang, M. Makihata, Y.-C. Lin, J.-W. Lee, W.-S. Wang, Y.S. Tsai, J. Fromel
and Gessner
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The AIMR International Symposium 2013 (AMIS 2013) |
| 2013/02 |
Piezoelectric Lateral MEMS Actuator Fabricated by Micromolding and Sol-Gel Processes
Shinya Yoshida, Nan Wang and Masayoshi Esashi
|
Shinya Yoshida, Nan Wang and Masayoshi Esashi |
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The AIMR International Symposium 2013 (AMIS 2013) |
| 2013/01 |
MECHANICAL STRENGTHENING OF SILICON TORSION BAR OF MEMS SCANNING MIRROR BY HYDROGEN ANNEAL
R. Hajika, S. Yoshida, W. Makishi, Y. Kanamori, S. Tanaka, and M. Esashi
|
R. Hajika, S. Yoshida, W. Makishi, Y. Kanamori, S. Tanaka, and M. Esashi |
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The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2013) |
| 2013/01 |
LATERALLY-DRIVEN PIEZOELECTRIC BIMORPH MEMS ACTUATOR WITH SOL-GEL-BASED HIGH-ASPECT-RATIO PZT STURUCTURE
N. Wang, S. Yoshida, M. Kumano, Y. Kawai, S. Tanaka and M. Esashi
|
N. Wang, S. Yoshida, M. Kumano, Y. Kawai, S. Tanaka and M. Esashi |
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The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2013) |
| 2012/12 |
HYDROGEN ANNEALING PROCESS TO IMPROVE FRACTURE TOUGHNESS OF SILICON COIL SPRING FOR MECHANICAL ENERGY STORAGE APPLICATION
T. Suzuki, T. Hayashi, N. Kogushi, Y. Saitoh, R. Hajika, S. Yoshida, M. Moriyama, K. Totsu, Y. Kanamori, S. Tanaka
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T. Suzuki, T. Hayashi, N. Kogushi, Y. Saitoh, R. Hajika, S. Yoshida, M. Moriyama, K. Totsu, Y. Kanamori, S. Tanaka |
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The 12th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS
2012)
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| 2012/10 |
水素アニールによる微細加工されたシリコン構造体の表面平滑化とねじり破壊強度へ与える影響の調査
羽鹿 亮、吉田慎哉、牧志 渉、金森義明、田中秀治、江刺正喜
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羽鹿 亮、吉田慎哉、牧志 渉、金森義明、田中秀治、江刺正喜 |
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第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2012/10 |
Laterally-driven Piezoelectric Bimorph Microactuator with Sol-Gel-based High-Aspect-Ratio PZT Structure
Nan Wang、Shinya Yoshida、Masafumi Kumano、Yusuke Kawai、Shuji Tanaka、Masayoshi Esashi
|
Nan Wang、Shinya Yoshida、Masafumi Kumano、Yusuke Kawai、Shuji Tanaka、Masayoshi Esashi |
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第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2012/10 |
Application of Functional Nanomaterials to MEMS
Shinya Yoshida and Masayoshi Esashi
|
Shinya Yoshida and Masayoshi Esashi |
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1st International Conference on Emerging Advanced Nanomaterials 2012 |
| 2012/09 |
ナノコンポジットゾルゲル法による高アスペクト比PZT構造を有する横方向駆動圧電バイモルフアクチュエータの作製 |
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第７回マイクロシステム融合研究会 |
| 2012/08 |
Fabrication of high-aspect-ratio PZT structure by sol-gel process using Si mold for MEMS transducers
Wang Nan, Shinya Yoshida, Masafumi Kumano, Masayoshi Esashi
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Wang Nan, Shinya Yoshida, Masafumi Kumano, Masayoshi Esashi |
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International Symposium on Test Automation and Instrumentation 2012 (ISTAI' 2012)) |
| 2012/07 |
INVESTIGATION OF HYDROGEN-ANNEALING EFFECT ON TORSIONAL STRENGTH OF SI BEAM OF SCANNING MICROMIRROR DEVICE
Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Wataru Makishi, Yoshiaki Kanamori, and Masayoshi Esashi
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Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Wataru Makishi, Yoshiaki Kanamori, and Masayoshi Esashi |
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The Sixth Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (IEEE APCOT 2012) |
| 2012/06 |
湿潤オゾンによるSU-8の完全除去と高速除去条件の探索
吉田慎哉,原島卓也,江刺正喜,田中秀治
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吉田慎哉,原島卓也,江刺正喜,田中秀治 |
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マイクロマシン・センサシステム研究会 |
| 2012/06 |
Al2O3-RuOxハイブリッド膜の原子層堆積プロセスの開発とMEMSマイクロチャネルプレートへの応用可能性の検討
西野 仁,吉田慎哉,熊野勝文,江刺正喜
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西野 仁,吉田慎哉,熊野勝文,江刺正喜 |
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マイクロマシン・センサシステム研究会 |
| 2012/03 |
複合酸化物と貴金属のための多元系原子層堆積装置の開発
熊野勝文、西野仁、吉田慎哉、田中秀治、江刺正喜
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熊野勝文、西野仁、吉田慎哉、田中秀治、江刺正喜 |
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第59回応用物理学関係連合講演会 |
| 2012/03 |
水素アニール処理のシリコンの破壊強度に与える影響
羽鹿亮、吉田慎哉、牧志渉、金森義明、江刺正喜
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羽鹿亮、吉田慎哉、牧志渉、金森義明、江刺正喜 |
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第59回応用物理学関係連合講演会 |
| 2012/03 |
MEMS用難除去性高分子材料の高速除去のための蒸気オゾンエッチング装置の開発
原島卓也、吉田慎哉、江刺正喜、田中秀治
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原島卓也、吉田慎哉、江刺正喜、田中秀治 |
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日本機械学会東北支部第47期総会・講演会 |
| 2012/03 |
Fabrication of High-aspect-ratio PZT Structure by Nanocomposite Sol-gel Method for Laterally-driven Piezoelectric MEMS Switch
Nan WANG , Shinya YOSHIDA, Masafumi KUMANO, Yusuke KAWAI and Masayoshi ESASHI
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Nan WANG , Shinya YOSHIDA, Masafumi KUMANO, Yusuke KAWAI and Masayoshi ESASHI |
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7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems IEEE-NEMS 2012 |
| 2012/02 |
Conformal Coating of Lithographic Polymer on 3D Structure via Initiated Chemical Vapor Deposition for MEMS fabrication
Shinya Yoshida, Tatsuya Kobayashi, Masafumi Kumano, and Masayoshi Esashi
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Shinya Yoshida, Tatsuya Kobayashi, Masafumi Kumano, and Masayoshi Esashi |
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The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop |
| 2011/09 |
面内方向駆動型圧電MEMSスイッチのためのSi 鋳型を用いた高アスペクト比PZT 構造体の作製法の開発
王 楠, 吉田 慎哉, 熊野 勝文, 江刺 正喜
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王 楠, 吉田 慎哉, 熊野 勝文, 江刺 正喜 |
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第３回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム |
| 2011/06 |
CONFORMAL COATING OF POLY(GLYCIDYL METHACRYLATE) AS A LITHOGRAPHIC POLYMER BY INITIATED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION.
S. Yoshida, T. Kobayashi, M. Kumano, and M. Esashi
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S. Yoshida, T. Kobayashi, M. Kumano, and M. Esashi |
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The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'11 |
| 2011/02 |
SIMPLE REMOVAL TECHNOLOGY USING OZONE SOLUTION FOR CHEMICALLY-STABLE POLYMER USED FOR MEMS.
H. Yanagida, S. Yoshida, M. Esashi, S. Tanaka
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H. Yanagida, S. Yoshida, M. Esashi, S. Tanaka |
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The 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2011) |
| 2011/02 |
Electrical modification on a conductivity-switching polyimide film formed by molecular layer deposition using scanning probe
microscope
Shinya Yoshida, Takahito Ono and Masayoshi Esashi
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Shinya Yoshida, Takahito Ono and Masayoshi Esashi |
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The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop |
| 2010/10 |
MEMS 用難除去高分子材料のオゾンエッチング
栁田 秀彰，吉田 慎哉，江刺 正喜，田中 秀治
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栁田 秀彰，吉田 慎哉，江刺 正喜，田中 秀治 |
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第27 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 2010/09 |
Deposition of a conductivity-switching polyimide film by molecular layer deposition and electrical modification using scanning
probe microscope
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
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Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi |
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The 36th International Conference on Micro ＆ Nano Engineering |
| 2010/07 |
Investigation of Frictional and Elastic Properties of a Conductive Polymer Brush by Atomic Force Microscopy for MEMS Probe-Based
Data Storage System.
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5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology （APCOT2010） |
| 2010/03 |
Investigation of frictional and elastic properties of a conductive polymer brush by atomic force microscopy for scanning probe
data storage system
So Fujinami, Masayoshi Esashi
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So Fujinami, Masayoshi Esashi |
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The 2010 WPI-AIMR Annual Workshop |
| 2009/03 |
Scanning multiprobe data storage system based on reversible conductance change of conductive polymer
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
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Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi |
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2009 WPI-AIMR Annual Workshop |
| 2008/09 |
マルチプローブ高密度記録のための導電性高分子記録媒体
小野崇人、江刺正喜
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小野崇人、江刺正喜 |
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第69回応用物理学会学術講演会 |
| 2008/05 |
Conductive polymer recording media for scanning multiprobe data storage system
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
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Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi |
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International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 2008 |
| 2008/04 |
Conductive polymer recording media for MEMS-based multiprobe data storage system |
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Nanotech in Japan, the 4th International Nanotechnology Conference on Communications and Cooperation (INC4) |
| 2008/02 |
Conductive polymer recording media for scanning multiprobe data storage
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
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Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi |
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WPI-AIMR ＆IFCAM Joint Workshop |
| 2007/06 |
Conductive Polymer Patterned Media for Scanning Multiprobe Data Storage
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
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Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi |
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The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers'07 |
| 2007/01 |
Photothermal Transducer Based on Ultrathin Bimetal Si Resonator
Takahito Ono, Shinya Yoshida, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi
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Takahito Ono, Shinya Yoshida, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi |
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IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS2007 |
| 2006/08 |
MEMSマルチプローブ有機薄膜導電性記録
小野 崇人、吉田 慎哉、江刺 正喜
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小野 崇人、吉田 慎哉、江刺 正喜 |
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有機バイオSPM研究会「有機高分子材料の合成、構造、物性研究のSPM応用」 |
| 2006/07 |
Reversible Electrical Modification of Conductive Polymer on Flat Template-Stripped Gold Surface
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
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Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi |
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International Conference on Nanoscience and Technology, ICN&T 2006 |
| 2006/04 |
Actuator-Integrated Microprobes for Advanced Analysis in Nanoscale
Takahito Ono, Yusuke Kawai, Shinya Yoshida, Kentaro Iwami, Hegen Xu, Masayoshi Esashi
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Takahito Ono, Yusuke Kawai, Shinya Yoshida, Kentaro Iwami, Hegen Xu, Masayoshi Esashi |
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The 1st International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs |
| 2005/10 |
Multiprobe Systems for Data Storage and Other Applications
Masayoshi Esashi, Takahito Ono, Shinya Yoshida
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Masayoshi Esashi, Takahito Ono, Shinya Yoshida |
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IEEE SENSORS 2005, The 4th IEEE Conference on Sensors |
| 2005/06 |
Reversible Electrical Modification on Conductive Polymer for Scanning Multiprobe Data Storage
Shinya Yoshida, Takahito Ono, Shuichi Oi, Masayoshi Esashi
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Shinya Yoshida, Takahito Ono, Shuichi Oi, Masayoshi Esashi |
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The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers'05 |
| 2003/07 |
走査型プローブ顕微鏡による導電性ポリマ薄膜の電気的修飾
吉田 慎哉、小野 崇人、安部 隆、江刺 正喜
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吉田 慎哉、小野 崇人、安部 隆、江刺 正喜 |
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第20回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム |