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発表年月
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タイトル／共同研究者
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掲載誌
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巻・号・頁
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学術機関等
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| 2002/07 |
成長中のCZ-Si結晶中の温度勾配の径方向分布と微小欠陥分布予測への適用（共著）
KITAMURA K, FURUKAWA J, NAKADA Y, ONO N, SHIMANUKI Y, EIDENZON A M, PUZANOV N I, PUZANOV D N
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結晶成長ジャーナル |
242巻
3-4号
293から
301ページまで
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| 2002/01 |
チョクラルスキー成長したシリコン結晶内の点欠陥分布および微小欠陥パターンに関する計算機シミュレーション（共著） |
（日本）応用物理学会論文集 |
41巻
464から
471ページまで
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| 1997/02 |
A numerical study of the effects of electromagnetic stirring on the distributions of temperature and oxygen concentration
in silicon double-crucible Czochralski processing
N Ono, G Trapaga
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JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY |
144巻
2号
764から
772ページまで
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ELECTROCHEMICAL SOC INC |
| 1997/02 |
A Numerical Study of the Effects of Electromagnetic Stirring on the Distributions of Temperature and Oxygen Concentration
in Silicon Double-Crucible Czochralski Processing（共著）
ONO N, TRAPAGA G
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米国電気化学学会誌 |
144巻
2号
764から
772ページまで
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ELECTROCHEMICAL SOC INC |
| 1997/01 |
チョクラルスキー成長時のシリコン結晶内の酸素濃度に対するアルゴンガス流量と炉内圧力の影響（共著） |
結晶成長ジャーナル |
186巻
362から
368ページまで
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| 1997/01 |
横振動法を用いたシリコン単結晶の高温でのヤング率とそのボロン濃度依存性の測定（共著） |
（日本）応用物理学会論文集 |
39巻
368から
371ページまで
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| 1994/04 |
二重ルツボ法でのシリコン融液中の酸素輸送に関する数値解析（共著）
ONO N, KIDA M, ARAI Y, SAHIRA K
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結晶成長ジャーナル |
137巻
3-4号
427から
434ページまで
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| 1993/07 |
THERMAL-ANALYSIS OF THE DOUBLE-CRUCIBLE METHOD IN CONTINUOUS SILICON CZOCHRALSKI PROCESSING .2. NUMERICAL-ANALYSIS
N ONO, M KIDA, Y ARAI, K SAHIRA
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JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY |
140巻
7号
2106から
2111ページまで
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ELECTROCHEMICAL SOC INC |
| 1993/07 |
THERMAL-ANALYSIS OF THE DOUBLE-CRUCIBLE METHOD IN CONTINUOUS SILICON CZOCHRALSKI PROCESSING .1. EXPERIMENTAL-ANALYSIS
N ONO, M KIDA, Y ARAI, K SAHIRA
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JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY |
140巻
7号
2101から
2105ページまで
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ELECTROCHEMICAL SOC INC |
| 1993/01 |
連続チョクラルスキー法における多結晶粒状シリコン供給の融液温度に対する影響についての数値解析（共著） |
結晶成長ジャーナル |
132巻
297から
304ページまで
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| 1993/01 |
二重ルツボ法におけるドーパント濃度制御の新しい手法（共著） |
結晶成長ジャーナル |
135巻
359から
364ページまで
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| 1993/01 |
Thermal Analysis on Double-Crucible Method in Continuous Silicon CZ Technology I（共著）
ONO N, KIDA M, ARAI Y, SAHIRA K
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米国電気化学学会誌 |
140巻
7号
2101から
2105ページまで
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| 1993/01 |
Thermal Analysis on Double-Crucible Method in Continuous Silicon CZ Technology II（共著）
ONO N, KIDA M, ARAI Y, SAHIRA K
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米国電気化学学会誌 |
140巻
7号
2106から
2111ページまで
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| 1988/01 |
境界要素法による熱伝導逆問題の解法に関する研究（共著）
庄司正弘, 小野直樹
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日本機械学会論文集B編 |
54巻
506号
2893から
2900ページまで
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The Japan Society of Mechanical Engineers |